두원공과대학교 산학협력단 반도체부트캠프   「 노광기 구매」입찰공고문

Ⅰ. 구매 개요 

1. 구매 목적 

가. 본교는 2023년부터 교육부 주관 ‘첨단산업 인재양성 부트캠프사업’을 추진중으로 기업과 학생들의 교육 수요조사를 기반으로 현장의 반도체장비유지보수 직무에 필요한 이론·실습 교육과정을 운영 중으로 클린룸 반도체 공정· 장비실습교육 강화를 위해서 1차년도에 클린룸을 구축했고 2차년도에 노광장비를 구매하고자 함.   

나. 본 장비는 실리콘 웨이퍼 포토레지스트 위에 UV를 조사하여 마스크 패턴을 전사하여 반도체 미세소자의 패턴 크기를 결정하는 매우 중요한 핵심 장비로 부트캠프 반도체공정장비 교과목을 수강하는 학생들이 노광공정 주요인자(해상도, 초점심도, 얼라인먼트, 노광량 등)와 노광장치(광원, 조명계 광학장치, 웨이퍼 척 등)를 실습과 체험 위주의 교육프로그램을 통해서 쉽게 이해할 수 있도록 활용 예정. 

2. 구매 개요 

가. 입 찰 명: 두원공과대학교 산학협력단 반도체부트캠프사업 클린룸 노광기 구매  

나. 설치장소: 경기도 파주시 주라위길 159 두원공과대학교 본관 지하 클린룸 

다. 예    산: 금 62,480,000원 (부가세포함) 

라. 납품기한: 계약일로부터 90일  

마. 하자보증기간: 장비 설치 및 검수(시운전 포함) 완료 후 1년 

바. 입찰방법: 일반경쟁입찰(나라장터) 

사. 계약방법: 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제18조 “규격·가격 동시입찰” 

3. 구매 범위 

가. 장비명: 노광기 

나. 장비사양: 1) UV 램프의 파장은 350~450nm이며 균일도는 ±3% 이하, 2) 마스크와 기판의 alignment accuracy는 ±1.0 ㎛ 이내, 3) 해상도는 진공 contact의 경우 1.0㎛ 이하(PR 두께가 1.0 ㎛인 실리콘 웨이퍼 기준), 4) 평행광 오차는 ±1° 이하  

다. 납품설치 및 수요자 제공 장치를 대상으로 시운전 및 성능 입증 

라. 각종 교육실시 및 교육자료 제공 

  1) 장비 구성 및 동작에 필요한 전반적인 기술 이론(H/W, S/W) 기본 교육 

  2) 각 모듈(ex. 광원, 스테이지/제어기, 현미경 등) 운영 및 관리 세부 교육  

  3) 장비의 부대용품(ex. I-line 필터, 진공척, 마스크홀더, 진공펌프 등) 운영 및 관리 교육 

  4) 교육 관련 자료는 문서로 제공 

마. 장비 운영 인력에 대한 교육 

바. 점검, 수리 등 사후관리 계획 

4. 납품조건 

가. 구매 기간은 3차년도 부트캠프 사업 추진일정, 예산의 상황, 현장의 여건변동에 따라 조정할 수 있다. 

나. 본사업의 제안자는 현장설치 일정에 맞추어 기자재를 납품 및 설치하여 공정추진에 차질이 없도록 하여야 한다. 또한 현장 설치 후 시운전, 장비 운영 인력 및 기술적 문제해결 등 A/S에 대한 교육을 포함한다. 

다. 설치, 시운전, 검수 등에 필요한 모든 경비는 납품 업체가 부담한다. 

라. 납품기한은 계약 후 90일 이내로 한다. 

5. 하자보증기간 : 설치일로부터 1년 

   (장비유지보수를 위해서 하드웨어, 소프트웨어 관련 기술 노하우가 풍부한 전문 엔지니어의 교육을 포함한다) 

2. 제안서 평가 

  2. 제출서류  

  4. 입찰 시 유의사항 

가. 입찰자는 공고된 입찰 제안요청서 내용을 숙지하여 입찰에 응하여야 함 

나. 본 제안요청서에서 요구되는 서류들을 제출하지 않거나 관련된 자료가 불충분한 경우에는 평가에서 제외될 수 있으며, 제안서에 있어 해석상 차이가 있는 경우 발주처의 의견에 따름 

다. 입찰서류 및 제안서 제출은 마감 전 두원공과대학교 안성캠퍼스 본관3층 관리처  

        방문접수 하여야 함